朱家庆，浙江嘉兴人，工学博士，2023年毕业于日本九州大学机械工程专业。主要从事半导体材料表面精密加工、微纳尺度几何量精密测量等研究，发表论文4篇，发明专利2项。

研究方向：精密加工、精密测量

科研项目:

1.次世代研究者挑战性研究养成项目（Supporting for Pioneering Research Initiated by Next Generation (SPRING) “Future Creation (Mirai)” Course，日本科学技术厅JST， Grant No. JPMJSP2136，负责。

2.基于纳米粒子芯片的液中多分散纳米粒子的高精度粒度分布测量，日本粉体工学会细川粉体工学振兴财团研究者养成项目，Grant No. HPTF21505， 30万日元，负责。

3.基于阿克质点系布朗运动解析的高精度纳米粒子粒度分布测量，日本学术振兴会，基础研究B， Grant No.19H02043. 参与。

4.基于使用荧光纳米探针的布朗运动评价的高精度纳米粒子粒度分布解析的研究，日本学术振兴会科研费，基础研究B，Grant No. 16H04249. 参与。

发表论文：

1.Jiaqing Zhu*, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa, Measurement of number-weighted particle size distribution for CMP slurry using nanoparticle chip[J], Precision Engineering, 86(2024), pp.203-212.

2.Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi*, Syuhei Kurokawa, Measurement of malor concentration spectra for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip[J], Precision Engineering, 74(2022), pp.460-468.

3.Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi*, Syuhei Kurokawa, Nanoparticle sizing for poly-dispersed particles using nanoparticle chip[J], Transactions of The JSME (in japanese), 86, 892 (2020), p.20-00220.

4.Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi*, Syuhei Kurokawa, Nanoparticle sizing for primary particle using nanoparticle chip[C], The Proceedings of the Manufacturing & Machine Tool Conference (in japanese), 13(2019), D19.

授权专利：

1.朱家庆，施玉书，史舟淼，张树，一种精准控制的纳米颗粒分离沉积方法，CN202410434607.4.

2.朱家庆，施玉书，史舟淼，张树，一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法，CN202410434611.0.

获奖及荣誉：

1.第18届国际精密工程学会Best Paper Award.

2.2021年度日本精密工程学会春季大会最佳报告奖

联系方式：shukakei@163.com